@misc{Schulze2011, author = {Christin Schulze}, title = {Laserpulsabscheidung (PLD) und Laserpulsspannungsrelaxation(PLS) von ta-C – Schichten und Untersuchung des Einflusses von Dotierungskonzentrationen auf die Schichteigenschaften}, institution = {03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik}, year = {2011}, }