TY  - GEN
U1  - Sonstiges
A1  - Schulze, Christin
T1  - Laserpulsabscheidung (PLD) und Laserpulsspannungsrelaxation(PLS) von ta-C – Schichten und Untersuchung des Einflusses von Dotierungskonzentrationen auf die Schichteigenschaften
N2  - Im Rahmen der Diplomarbeit wurden Untersuchungen der Einflüsse von unterschiedlichen Schichtdicken, des Beschichtungswinkels und der Dotierungspartner sowie des Dotierungsgrades auf die Schichteigenschaften von ta-C – Schichten durchgeführt. Als Dotierungspartner wurde Silber und Bor ausgewählt. Zur Herstellung der Schichten standen zwei KrF - Excimerlaser der Typen LPX Pro 305, davon einer mit stabilem und einer mit instabilem Resonator, der Firma COHERENT zur Verfügung. Im Vordergrund standen die Analysen der Partikulatdiche, der Oberflächenrauheit, die Untersuchung der Haftfestigkeit und der Härte, sowie die Bestimmung der Schichteigenspannungen. Ziel ist es superharte, verschleißfeste und spannungsfreie ta-C – Schichten herzustellen
KW  - Laserbeschichten
Y1  - 2011
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-12549
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-12549
ER  -