TY - THES U1 - Master Thesis A1 - Schille, Marco T1 - Technologieentwicklung für die Polyimidbeschichtung von Piezo-Stacks N2 - nicht vorhanden KW - Beschichtung KW - Polyimide Y2 - 2012 U6 - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-49386 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-49386 ER -