OPUS


Laserpulsabscheidung (PLD) und Laserpulsspannungsrelaxation(PLS) von ta-C – Schichten und Untersuchung des Einflusses von Dotierungskonzentrationen auf die Schichteigenschaften

  • Im Rahmen der Diplomarbeit wurden Untersuchungen der Einflüsse von unterschiedlichen Schichtdicken, des Beschichtungswinkels und der Dotierungspartner sowie des Dotierungsgrades auf die Schichteigenschaften von ta-C – Schichten durchgeführt. Als Dotierungspartner wurde Silber und Bor ausgewählt. Zur Herstellung der Schichten standen zwei KrF - Excimerlaser der Typen LPX Pro 305, davon einer mit stabilem und einer mit instabilem Resonator, der Firma COHERENT zur Verfügung. Im Vordergrund standen die Analysen der Partikulatdiche, der Oberflächenrauheit, die Untersuchung der Haftfestigkeit und der Härte, sowie die Bestimmung der Schichteigenspannungen. Ziel ist es superharte, verschleißfeste und spannungsfreie ta-C – Schichten herzustellen

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Metadaten
Author:Christin Schulze
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-12549
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Year of Completion:2011
Release Date:2011/05/20
GND Keyword:Laserbeschichten
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
Dewey Decimal Classification:620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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