Technologieentwicklung für die Polyimidbeschichtung von Piezo-Stacks
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Author: | Marco Schille |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-49386 |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2015/03/19 |
Publishing Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2015/03/19 |
GND Keyword: | Beschichtung; Polyimide |
Institutes: | 02 Maschinenbau |
DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |